传感器

近期，先进制造技术领域在京组织专家对863计划“典型MEMS器件设计制造与应用关键技术”主题项目“雷电预警传感器及系统”课题进行了验收。课题开展 了大气电场探测及雷电预警传感器研究，突破了MEMS电场传感器设计、制造、封装、测试、可靠性等关键技术，研制出系列化微型电场传感器，显著提高了传感 器的灵敏度，提高了电场测量的精度和可靠性，提高了器件成品率和一致性。研制出的大气电场地面探测装置和空中电场探测系统，已在我国卫星发射基地大气电场 探测系统、国家电网雷电预警系统、地面气象监测、大型石化炼厂雷电监测与预警系统等多个领域得到示范应用。课题研究成果推动了我国微型电场传感器及其相关 行业的技术进步，具有广阔应用前景。