传感器

国内外最常用的三种接触式测温元件是热电偶、电阻温度计（RTD）和NTC热敏电阻。热电 偶的工作温度范围宽，但易受噪声影响，漂移较高，500℃以下测量精度及稳定性较差。NTC热敏电阻灵敏度高，但稳定性差、线性与互换性差，阻值偏差大。 远距离、非接触式测温中用得多的是红外温度传感器，但它受水气、烟雾、尘雾、尘埃等影响较大，这些都不适合环境恶劣的军用传感器性能要求。但抗振动和抗冲击性能差，可靠性低，且体积大，不利于向微型化方向发展。箔式铂电阻虽然抗振动冲击性能有所改善，但具有耐湿性差，绝缘性能低的缺点。
铂膜热电阻的优点主要体现在：稳定性好，抗振动，抗冲击；2）体积小，重量轻，便于微型化；3）精度高，寿命长。
国 内铂膜热电阻的研究起步较晚，在电阻的准确性、稳定性、线性度等技术性能和可生产性方面，与国外同类型产品还有很大的差距。国内市场上绝大部分的高精度铂 膜热电阻都依赖进口，这对我国工业技术与国防事业的发展都很不利。国外对高精度铂热电阻的研制主要集中在铂膜热电阻上。铂热电阻的制作工艺一般采用的是丝 式、箔式、厚膜式。丝式铂电阻是在平板形式支架用直径为0.03~0.07mm纯铂丝绕制而成，精度高，但抗振动和抗冲击性能差，可靠性低，且体积大，不 利于向微型化方向发展。箔式铂电阻虽然抗振动冲击性能有所改善，但具有耐湿性差，绝缘性能低的缺点。

在 低、中温段，以电阻温度计的线性最好，尤其是铂热电阻，凭借其上好的线性和无与伦比的长期稳定性，确立了作为温度参考传递国际标准的地位。所以，高精度、 高稳定性的军用传感器基本都是采用的铂热电阻温度传感器。如瑞典的IRON公司、德国贺利氏（Heraeus）公司、美国霍尼韦尔公司，德国贺利氏的高精 度铂膜电阻的代表有L020、L420。国外对高精度产品的开发投入相当大，美国霍尼韦尔公司的固态传感器发展中心每年用于设备投资就达5000万美元， 目前拥有包括计算机辅助设计、单晶生长、加工、图形发生器，对步重复照像、自动涂胶和光刻、等离子刻蚀、溅射、扩散、外延、蒸镀、离子注入、化学气相沉 积、扫描电镜、封装和屏蔽动态测试等最先进的成套设备和生产线，而且是大约每三年左右就要更新其中大部分仪器设备。