传感器

牟昌华同志2005年毕业后，来到北京七星华创电子股份有限公司从事产品研发工作。牟昌华同志从基层做起，专业基础扎实，工作认真努力。2006年牟昌华 授命担任北京七星华创电子股份有限公司重大战略项目"8英寸半导体高端数字气体质量流量控制器" 技术负责人。该项目旨在开发我国新一代的数字气体质量流量控制器，由于该项目的政治经济方面的意义，牟昌华还获得了2007年中共北京市委组织部的优秀人 才项目培养基金资助。

    在牟昌华的带领下，项目团队成功研制了CS200 气体质量流量控制器。2008年6 月项目通过了省部级鉴定，鉴定结论"CS200气体质量流量控制器" 技术达到国内领先水平，综合技术指标达到了国际同类产品技术水平".2009年项目成果获得第三届中国半导体协会创新技术奖和七星集团创新成果一等奖。截 止目前为止，CS200 系列产品累计实现销售近3 万余台，累计实现收入超过1 亿元，广泛应用到了我国半导体、真空、核工业、太阳能电池等多个领域。

    2011年牟昌华带领技术团队完成了专门为燃料电池行业开发的CS230 大流量气体质量流量控制器的研发工作。产品通过了省部级鉴定，鉴定结论“CS230 型气体质量流量控制器" 技术达到国际领先水平”。目前产品已经出口海外超过8000台，实现销售收入超过3000万元，是目前全球唯一适用于商业燃料电池电站的气体质量流量控制 器，占全球燃料电池电站气体质量流量控制器的90% 以上的市场份额，产品主要出口海外，取得了良好的经济和社会效益。

    2008年6 月起牟昌华担任国家科技重大专项02号专项"300mm 90/65nm立式氧化炉/ 质量流量控制器" 项目子课题三“300mm 金属密封数字气体质量流量控制器研发及产业化”（2008ZX02106-003 ）首席专家。该课题旨在研制我国300mm生产线的高端气体质量流量控制器，打破国外的技术壁垒。牟昌华带领团队成功研发了CS300 型气体质量流量控制器，产品已经在我国各主要大规模集成电路生产线和装备企业进行了测试和使用，包括了12英寸大规模集成电路设备中的刻蚀机，LPCVD ，氧化炉等各种重要设备和工艺，产品的测试结果良好。目前项目课题正在结项阶段，已经顺利通过了内部现场测试。该产品获得2012年度中国半导体创新产品 技术奖，北京市工业国防系统职工创新三等奖。课题团队也因为优异的表现获得国家科技重大专项的优秀团队奖和突出成果奖。

    2014年1 月起牟昌华同志担任国家科技重大专项02号专项“14nm立体栅刻蚀机研发及产业化”子课题“气体输送集成控制系统（IGS ）研发和示范应用”（2014ZX02103-004 ）技术负责人，该课题旨在研发并产业化生产应用于12英寸半导体生产线的集成气体输送系统，牟昌华正在带领课题组完成图纸设计任务。

    目前牟昌华同志还同时担任“国际热核聚变实验堆（ITER）气体注入系统流量控制阀”项目和我国新型航天器在轨“热式微流量传感器”项目的技术负责人，带领技术团队为我国各个重点行业研发新型产品。

    牟昌华同志在气体质量流量控制器领域提出了多项创新技术，包括恒功率传感器技术，数字传感器平衡技术，VCP 的阀控制技术，压力补偿技术。同时完成了DeviceNet 等多种总线技术产品的研发工作，使我国气体质量流量控制器在短短几年内获得了突飞猛进的发展，达到了国际先进水平，为我国众多行业的发展和国产化提供了有 力的支持。

    骨干人员

赵迪

    自2003年参加工作以来，参加研发项目有D08-8C/8CM数字流量积算仪、D08-1G/1GM数字流量显示仪、D07-11C/11CM质量流量 控制器/ 计、D07-19B/19BM质量流量控制器/ 计、D07-22AM质量流量计、D07-9G质量流量控制器、UL项目、D08-8E/8EM数字流量积算仪、D08-6A/6AM数字流量显示仪、 CMOS／MEMS气体质量流量传感器测试项目、CS200Profibus 质量流量控制器、D07-7K质量流量控制器、D07-19C 质量流量控制器、D08-1N数字流量显示仪、D07-19KM航天质量流量计共计15个研发项目。

苏乾益

    个人工作经历：2002年7 月至2006年6 月，北京七星华创电子股份有限公司流量计分公司的技术部，机械设计员。2006年7 月至2009年6 月，北京七星弗洛尔电子设备制造有限公司的技术部，机械设计员。

    2009年7 月至今，北京七星华创电子股份有限公司的MFC 研发中心研发部，机械设计员。

    参与研发的项目：

    1.参与研发D07-20防爆型气体质量流量控制器。D07-20质量流量控制器具有防爆功能。该产品已取得了实用新型专利。

    2.参与研发D07-60大流量的气体质量流量控制器，流量达到2000SLM 的质量流量计和质量流量控制器。这种超大流量的质量流量控制器，是根据先导阀的理论，把先导阀运用在质量流量控制器上而做成的超大流量流量控制器。该产品已取得了实用新型专利。

    3.参与研发CS200 系列的数字气体质量流量控制器，是一种用于半导体行业技术含量高的数字式质量流量控制器。该产品已取得了外观专利，整机实用新型专利，传感器发明专利以及全金属电磁调节阀的实用新型专利等多个专利。

    4.参与研发CS300 系列压力不敏感型的气体质量流量控制器。CS300 数字式气体质量流量控制器为国家重大专项的项目，该产品可用12英寸的半导体生产线上，还有该产品具有对压力不敏感功能，该产品在国际属于技术领先。该产品已申请了发明专利。

    5.参与研发US700 系列数字气体质量流量控制器除了具有CS300 系列数字气体质量流量控制器所有功能外，还有其本身的特点，那就是超低的工作差压，在工作压差为10Torr下，US700 系列数字气体质量流量控制器能正常工作。US700系列数字气体质量流量控制器现处于研发阶段，样机调试完成，并交付客户测试。

    6.参与研发CS100 系列等数字气体质量流量控制器主要是针对除半导体以外的用户而研制的，其除了具有CS200 系列数字气体质量流量控制器所有功能外，还有其本身的特点是成本低、可靠性高、对环境的要求低的特点。目前CS100 系列等数字气体质量流量控制器还处于研发测试阶段，样机调试完成，并交付客户测试。

    7.参与了CS200 阀的进行技术改进。CS200 产品在阀改进之前，经常出现阀漏，阀跳，不能到达满量程等诸多问题，需要多次拆阀、装阀、调阀。这样一来，造成很多零件报废，生产成本被浪费，而且生产效 率低。进行CS200 阀改进项目，大大提高CS200 产品的一次装配合格率，从而大大降低了生产损耗，节约了生产制造成本，生产效率得到明显提高。

    8.参与研发D07-19KM和CS130 质量流量计。该项用于航天领域的质量流量计。该项还处于研发测试阶段。

    9.参与IGS 气路盘项目的研发。

    10. 研制了多种型的传感器，如： D07 B型传感器， D07-50A传感器， CS230J传感器， US700传感器等，这新型传感器对提升产品的质量起到重要作用。